微型高溫探針臺

產品簡介

微型高溫探針臺KT-Z400MR4T，0-400℃溫控，主要用于介電、壓電、鐵電、熱釋電、光電等材料的電學性能表征和測量。

產品型號：KT-Z400MR4T

更新時間：2024-03-29

廠商性質：生產廠家

訪問量：2827

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品牌	鄭科探

微型高溫探針臺KT-Z400MR4T

系列微型真空探針臺是一款專門用于材料電學表征和測量的微型桌面型電學測量臺，主要用于介電、壓電、鐵電、熱釋電、光電等材料的電學性能表征和測量，還可以在真空、氣氛環境下對材料進行電學測量評估，是實驗室測量薄膜材料電學性能工具，廣泛用于高校、科研、航天航空、軍工院所等領域。

主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區分有：手動，半自動，全自動從功能上來區分有：溫控探針臺，真空探針臺(低溫探針臺)，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成

為了減少泵組的振動，我們還專門為用戶設計了隔振器，很大程度地衰減泵組工作時產生的振動，以確保系統的穩定，減少探針的漂移。

微型高溫探針臺KT-Z400MR4T參數

真空腔體
類型	高溫型室溫到350℃	高低溫型室溫到350℃ 室溫到-196℃
腔體材質	304不銹鋼 6061鋁合金可選
腔體內尺寸	127mmX57mmX20mm
腔體外尺寸	150mmX80mmX32mm
腔體重量	不銹鋼材質約1.5KG 鋁合金材質約0.5KG
腔體上視窗尺寸	Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
腔體抽氣口	KF16法蘭（其余接口規格可轉接）
腔體真空測量口	KF16法蘭（其余接口規格可轉接）
腔體進氣口	6mm快擰或 6mm快插
腔體冷卻方式	腔體水冷+上蓋氣冷
腔體水冷接口
腔體正壓	≤0.05MPa
腔體真空度	機械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺
樣品臺材質	不銹鋼銀銅合金純銀塊	銀銅合金純銀塊
樣品臺尺寸	26x26mm
樣品臺加熱方式	電阻加熱	電阻加熱液氮制冷
樣品臺-視窗距離	11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
樣品臺測溫傳感器	PT100型熱電阻
樣品臺溫度	室溫到400℃	室溫到400℃ 室溫到-196℃
樣品臺測溫誤差	±0.5℃
樣品臺升溫速率	高溫100℃/min 最大值低溫7℃/min
溫控儀
溫度顯示	7寸人機界面
溫控類型	標準PID溫控 +自整定
溫度分辨率	0.1℃
溫控精度	±0.5℃
溫度信號輸入類型	PT100 （可選K S B型熱電偶）
溫控輸出	直流線性電源加熱	直流線性電源加熱+液氮流速控制器
輔助功能	溫度數據采集并導出實時溫度曲線+歷史溫度曲線可擴展真空讀數接口
溫控器尺寸	32cmX170cmX380cm
溫控器重量	約5.6KG
探針
電信號接頭	配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長1.2米
電學性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數量	4探針（可擴展5探針）
探針材質	鍍金鎢針（其他材質可選）
探針尖	10μm
手動探針移動平臺
X軸移動行程	20mm ±10mm（需手動推動滑臺）
X軸控制精度	≥500μm
R軸移動行程	120° ±60°（需手動旋轉探針桿）
R軸控制精度	≥500μm
Z軸移動行程	2mm ±1mm
Z軸控制精度	≤50μm（需手動螺紋調節探針桿）